在半導(dǎo)體、熱處理等工業(yè)制程中，穩(wěn)定高效的真空排氣是工藝穩(wěn)定的核心保障。日本樫山工業(yè)（Kashiyama）推出的 SD 系列干式真空泵，以高耐用性、小型化、低功耗的優(yōu)勢，成為工業(yè)真空場景的優(yōu)選設(shè)備。

系列延續(xù)了品牌經(jīng)典的制程耐性并持續(xù)優(yōu)化，采用豎型螺桿結(jié)構(gòu)與全新加熱系統(tǒng)，搭配特殊耐腐蝕材料，大幅強化設(shè)備耐用性，豐富的溫度區(qū)間可適配各類嚴苛制程。設(shè)備實現(xiàn)了小型化，20000L/min 級機型占地面積較前代縮減 35%，同時進一步降低電力消耗，兼顧性能與節(jié)能。

全系列覆蓋多檔排氣規(guī)格，排氣速度從 10000L/min 到 100000L/min 可選，到達壓力低至 0.3Pa，滿足從實驗室到量產(chǎn)線的全場景真空需求。設(shè)備符合 SEMI、CE、NRTL 等國際安全規(guī)格，設(shè)計高可靠，搭載腳輪便于移動部署，適配各類工業(yè)現(xiàn)場。

設(shè)備采用三相 AC200~220V 供電，支持氮氣吹掃，冷卻水量需求低，功耗控制優(yōu)異，SDX 節(jié)能款適配熱處理制程，SDT/SDH 高耐用款適配嚴苛制程，可根據(jù)工藝需求靈活選型。全系列排氣性能穩(wěn)定，寬壓力區(qū)間保持高效抽速，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空熱處理、材料研發(fā)等領(lǐng)域，是工業(yè)真空系統(tǒng)的核心配套設(shè)備。