日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計
日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計IT-470F-H
總覽
配備了內(nèi)部開發(fā)的高靈敏度熱電堆傳感器，它是行業(yè)*的高精度設(shè)備安裝式輻射溫度計，通過結(jié)合多年開發(fā)的輻射溫度計技術(shù)而實現(xiàn)。
它有助于提高需要高精度溫度測量的領(lǐng)域的過程穩(wěn)定性，例如半導(dǎo)體和FPD制造。
特征
- 精度高：±0.1°C ※和重現(xiàn)性（2σ）：0.1°C ※實現(xiàn)
- 在150 mm的測量距離上實現(xiàn)Φ8mm的狹窄視野
- 提供兩種類型的輸出：高度通用的電流輸出和不易受電磁感應(yīng)噪聲影響的光學(xué)數(shù)字輸出。
*這是在某些條件下使用時的實際值。
用
- 處于真空室內(nèi)時的基座溫度測量示例
可以是從真空室的外部通過基座的窗口進(jìn)行溫度測量的示例。
- FPD制造工序中的液晶基板的表面溫度的測定例由于
為非接觸測定，因此不會刮傷被測定物的表面。
- 拋光過程中溫度控制的示例由于它
是非接觸式測量，因此不會刮傷被測物體的表面。
注意
為了醉大程度地發(fā)揮本產(chǎn)品的性能，我們將根據(jù)您的應(yīng)用程序的詳細(xì)信息（測量目標(biāo)，安裝環(huán)境等）進(jìn)行討論并做出估算。
規(guī)范
測量波長 | 8-14微米 |
|---|---|
測量溫度范圍 | -50至200°C |
輸出分辨率 | 光學(xué)數(shù)字輸出：0.1°C，電流輸出：0.025％FS以下 |
測量精度* | ±4.0℃（目標(biāo)溫度-50℃） |
重現(xiàn)性 | 0.7℃（目標(biāo)溫度-50℃） |
響應(yīng)速度 | 光學(xué)數(shù)字輸出：1.4秒或更短（移動平均1秒，響應(yīng)率95％） |
數(shù)據(jù)采樣周期 | 0.1秒 |
數(shù)據(jù)傳輸率 | 光學(xué)數(shù)字輸出：0.2秒，電流輸出：0.1秒 |
測量視野 | Φ8mm以下/距離150mm（入射光量90％） |
輻射率設(shè)定 | 0.001至0.999可選（出廠默認(rèn)設(shè)置） |
工作溫度和濕度范圍 | 溫度0-55℃，相對濕度35-85％RH（無結(jié)露） |
電源供應(yīng) | DC24V±5％ |
功能 | 光學(xué)數(shù)字輸出（JIS F05型），電流輸出4至20mA（負(fù)載電阻100Ω，非絕緣）光軸由法蘭調(diào)節(jié) |
外形尺寸 | 55 x 44 x 96 mm，帶電源和電流電纜（標(biāo)準(zhǔn)長度2 m） |
大眾 | 300g以內(nèi) |
*條件：環(huán)境溫度為24-29°C（包括溫度計安裝部件的溫度），濕度為55±20％，輻射率校正設(shè)置為1.000，無干擾。
日本horiba懸掛式非接觸輻射溫度計IT-470F-H
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