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美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統

產品名稱: 美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統
產品型號: Exicor® OIA
產品特點: 美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統
是用于正入射、斜入射場景下,評估透鏡、平行面及曲面光學元件的雙折射檢測設備,基于成熟的照片彈性調制器技術,為光學元件分析與開發提供專業支持。

美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統 的詳細介紹

美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統

美國 HINDS Exicor OIA 雙折射測量光學系統

是針對光學元件檢測需求推出的專業設備,可在正入射和斜入射角度下,完成透鏡、平行面光學元件、曲面光學元件的雙折射測量,適配下一代光刻透鏡、透鏡坯料等高價值光學元件的分析與開發工作。


系統核心基于 HINDS Instruments 的照片彈性調制器(PEM)雙折射測量技術,利用偏振電磁波(PEM)調制光束的偏振狀態,搭配優良的檢測和解調電子設備,精準測量光學元件對光束偏振狀態的改變,以此獲取光學延遲數據,進而評估雙折射、快軸方向,以及理論殘余應力。


設備支持自動掃描平行平板、球面透鏡類型,非球面元件可通過手動宏程序完成掃描,可生成 2D 阻尼和快軸方向圖、掃描統計數據,直觀呈現檢測結果。系統配備舞臺前進裝載位置,可從上方自由訪問樣品臺,方便樣品取放;同時搭載紫外線和激光光封閉裝置、安全聯鎖裝置、緊急關閉按鈕、系統狀態指示燈塔,保障操作安全;配套用戶工作站、計算機和顯示器,滿足實驗室與工業場景的使用需求。


系統覆蓋可見光與深紫外多波段檢測,可見光延遲測量范圍 0 到 300 + 納米,深紫外延遲測量范圍 0 到 90 + 納米,延遲分辨率可達 0.001nm,角分辨率 0.01°,可滿足高精度光學元件的檢測要求,廣泛應用于半導體光刻、透鏡制造、光學元件研發等領域。


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